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潔凈機(jī)器人

新松潔凈自動(dòng)化系列產(chǎn)品經(jīng)過(guò)10多年的技術(shù)沉淀已形成系列化單體產(chǎn)品，同時(shí)注重模塊化單元及設(shè)備平臺(tái)建設(shè)，以成套化和規(guī)?；癁榘l(fā)展目標(biāo)，擁有100余人的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，在沈陽(yáng)擁有5000平米的凈化間，目前主要應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋IC裝備、平板顯示、光伏、電子等行業(yè)，能夠?yàn)榭蛻籼峁┩暾募夹g(shù)解決方案和交鑰匙工程。完全擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和核心技術(shù)，技術(shù)水平國(guó)內(nèi)領(lǐng)先達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

: TSS-3000 EFEM

一體化程度高，自動(dòng)化程度高，安全區(qū)保護(hù),SEMI認(rèn)證S2、F47,網(wǎng)絡(luò)化控制器,接口可用戶定制，擁有新松自主研發(fā)的控制器，Aligner，方便在視窗觀察的可拆卸單元門，易移動(dòng)框架，帶有隔離的風(fēng)扇過(guò)濾系統(tǒng)，可拆分的設(shè)備結(jié)構(gòu)，從而保證設(shè)備潔凈、可靠的運(yùn)行。
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: 真空機(jī)械手 Archer 系列

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)，全新的IO模塊，具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號(hào)支硬件中斷功能，擁有SEMI認(rèn)證。滿足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶定制，手臂長(zhǎng)度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務(wù)。
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: 真空傳輸平臺(tái)Diagram 600

作為半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線的必要設(shè)備，本平臺(tái)一般包含在整套半導(dǎo)體制造設(shè)備系統(tǒng)之中，是硅片盒（Cassette）到工藝腔（CVD，ALD，PVD等）之間的硅片搬送系統(tǒng)。

: 真空機(jī)械手PHOENIX B系列

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)，全新的IO模塊，具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號(hào)支硬件中斷功能，擁有SEMI認(rèn)證。滿足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶定制，手臂長(zhǎng)度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務(wù)。

: 真空機(jī)械手PHOENIX-S25系列

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)，全新的IO模塊，具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號(hào)支硬件中斷功能，擁有SEMI認(rèn)證。滿足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶定制，手臂長(zhǎng)度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務(wù)。

: 真空機(jī)械手PHOENIX PLUS B系列

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)，全新的IO模塊，具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號(hào)支硬件中斷功能，擁有SEMI認(rèn)證。滿足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶定制，手臂長(zhǎng)度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務(wù)。

: Titan1500C

具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及動(dòng)態(tài)糾偏功能機(jī)器人具有更卓越的動(dòng)力性能，可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的高精度、高速度、高穩(wěn)定性使用要求。

: SRBZ970C

具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及動(dòng)態(tài)糾偏功能機(jī)器人具有更卓越的動(dòng)力性能，可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的高精度、高速度、高穩(wěn)定性使用要求。

: SRBZ820C

具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及動(dòng)態(tài)糾偏功能機(jī)器人具有更卓越的動(dòng)力性能，可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的高精度、高速度、高穩(wěn)定性使用要求。

: SRBZ820C-G

具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及動(dòng)態(tài)糾偏功能機(jī)器人具有更卓越的動(dòng)力性能，可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的高精度、高速度、高穩(wěn)定性、高溫工況使用要求。

: 真空機(jī)械手 SM11

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)，全新的IO模塊，具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號(hào)支硬件中斷功能，擁有SEMI認(rèn)證。滿足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶定制，手臂長(zhǎng)度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務(wù)。

: TSS-4000 EFEM

一體化程度高，自動(dòng)化程度高，安全區(qū)保護(hù),SEMI認(rèn)證S2、F47,網(wǎng)絡(luò)化控制器,接口可用戶定制，擁有新松自主研發(fā)的控制器，Aligner，方便在視窗觀察的可拆卸單元門，易移動(dòng)框架，帶有隔離的風(fēng)扇過(guò)濾系統(tǒng)，可拆分的設(shè)備結(jié)構(gòu)，從而保證設(shè)備潔凈、可靠的運(yùn)行。

: TSS-2000 EFEM

SEMI認(rèn)證S2、F47
接口可用戶定制

: LoadPort

LoadPort是新松公司自主研發(fā)的一種晶圓裝載裝置，可安裝在EFFM上，適用于8寸和12寸晶圓盒的裝載，具備準(zhǔn)確的mapping功能，可自動(dòng)識(shí)別盒內(nèi)晶圓各槽狀態(tài)，如單片、跨片、異常片，通過(guò)獨(dú)創(chuàng)的開(kāi)關(guān)門機(jī)構(gòu)和精確的運(yùn)動(dòng)控制，實(shí)現(xiàn)了高清潔性能，同時(shí)具有良好的穩(wěn)定性和速度。

: SMIF

SMIF是一種晶圓裝載與檢測(cè)集成裝置，適用于6寸和8寸晶圓盒的自動(dòng)開(kāi)關(guān)盒，效率高，穩(wěn)定性好，重復(fù)定位精度高，潔凈等級(jí)為Class1；具有兼容150mm和200mm晶圓的mapping功能，能自動(dòng)檢測(cè)盒內(nèi)各槽晶圓狀態(tài)，例如單片、跨片；具有開(kāi)盒時(shí)自動(dòng)識(shí)別盒內(nèi)晶圓尺寸的功能，更加便于使用；具有靈敏的晶圓滑出保護(hù)功能，可以自動(dòng)監(jiān)測(cè)盒內(nèi)異常狀況，有效保護(hù)晶圓；具有實(shí)時(shí)檢測(cè)的機(jī)械手互鎖和光柵互鎖功能，可以有效保護(hù)機(jī)械手以及人身安全；具有RFID讀取功能。新松SMIF為全流程中國(guó)大陸自主設(shè)計(jì)制造，推動(dòng)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)步，有效的支撐了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展。

: 立式爐Mini STK

立式爐Mini STK應(yīng)用于立式爐管設(shè)備前端，適用于FOUP的轉(zhuǎn)運(yùn) 、暫存和開(kāi)盒。

: 大氣機(jī)械手Blade-SD210

高潔凈等級(jí)，高速傳片，碰撞保護(hù)，Mapping，SEMI認(rèn)證S2，F(xiàn)47，迎合個(gè)性化設(shè)計(jì)手指及接口用戶可定制。

: 大氣機(jī)械手Blade-S225

高潔凈等級(jí)，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護(hù)，Mapping功能，SEMI認(rèn)證，提供接口及末端定制。

: 大氣機(jī)械手Blade-S175-EX

高潔凈等級(jí)，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護(hù)，Mapping功能，SEMI認(rèn)證，提供接口及末端定制

: 大氣機(jī)械手Blade-DD250

高潔凈等級(jí)，高精度，高速傳片，耐腐蝕，碰撞保護(hù)， SEMI認(rèn)證，提供接口及末端定制

: 大氣機(jī)械手Blade-D156

高潔凈等級(jí)，高速傳片，碰撞保護(hù)， Mapping，SEMI認(rèn)證S2，F(xiàn)47

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