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SMIF是一種晶圓裝載與檢測(cè)集成裝置，適用于6寸和8寸晶圓盒的自動(dòng)開(kāi)關(guān)盒，效率高，穩(wěn)定性好，重復(fù)定位精度高，潔凈等級(jí)為Class1；具有兼容150mm和200mm晶圓的mapping功能，能自動(dòng)檢測(cè)盒內(nèi)各槽晶圓狀態(tài)，例如單片、跨片；具有開(kāi)盒時(shí)自動(dòng)識(shí)別盒內(nèi)晶圓尺寸的功能，更加便于使用；具有靈敏的晶圓滑出保護(hù)功能，可以自動(dòng)監(jiān)測(cè)盒內(nèi)異常狀況，有效保護(hù)晶圓；具有實(shí)時(shí)檢測(cè)的機(jī)械手互鎖和光柵互鎖功能，可以有效保護(hù)機(jī)械手以及人身安全；具有RFID讀取功能。新松SMIF為全流程中國(guó)大陸自主設(shè)計(jì)制造，推動(dòng)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)步，有效的支撐了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展。