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大氣機械手Blade-SD210

耦合傳動、伺服驅動、潔凈傳動及潤滑、SCARA手臂結構，具有占用空間小、大伸縮比、高精度、高潔凈度等優(yōu)點。迎合個性化設計，手指及接口用戶可定制，網絡化控制系統(tǒng)，高效率傳片和碰撞保護功能，SEMI認證S2、F47，MCBF大于1000萬次。負責完成晶圓在FOUP、緩沖室、工藝位置等之間的自動傳送。是半導體行業(yè)的優(yōu)越之選擇。

advantages

產品優(yōu)勢
  • 耦合傳動、SCARA手臂結構
    占用空間小，伸縮比大
  • 高精度、高潔凈度
    伺服驅動、潔凈傳動及潤滑
  • 個性化設計
    用戶可定制手指及接口
  • 系統(tǒng)網絡化控制
    傳片效率高、碰撞保護
  • 質量可靠
    高品質零部件，精密裝配，嚴格檢驗，高壽命
  • SEMI認證
    S2、F47，MCBF大于1000萬次
  • 質量可靠
    高品質零部件，精密裝配，嚴格檢驗，高壽命

Application areas

產品應用領域

parameter

產品參數(shù)
  • 結構形式

    柱坐標型/SCARA型

  • 負載-名稱

    晶圓

  • 負載-直徑

    2寸/4寸/6寸/8寸/12寸/

  • 負載-重量

    ≤0.5kg

  • 自由度數(shù)

    2

  • 最大回轉直徑

    580mm

  • 運動范圍-升降軸（Z軸）

    450mm

  • 運動范圍-回轉軸（T軸）

    270°

  • 運動范圍-伸展軸（R1、R2）

    670mm

  • 節(jié)拍-升降軸（Z軸）

    <1s

  • 節(jié)拍-回轉軸（T軸）

    0.7s/180°

  • 節(jié)拍-伸展軸（R1、R2）

    1.2S/450mm

  • 重復定位精度-升降軸（Z軸）

    ±0.1mm (3σ)

  • 重復定位精度-回轉軸（T軸）

    ±0.006°(3σ)

  • 重復定位精度-伸展軸（R1、R2）

    ±0.1mm (3σ)

  • 潔凈度

    ISO CLASS 1

  • 主機重量

    60kg

  • 電源

    208VAC(50Hz/60Hz)

  • 行程

    670mm

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