无码国产精品一区二区免费VR,国产乱妇无码大黄aa片,JLZZ大全高潮多水老师,在线 | 一区二区三区四区

更多

產(chǎn)品中心

您當前所在位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 潔凈機器人

TSS-2000 EFEM

EFEM是一個晶圓前端傳輸設備，是一個與SEMI標準兼容的界面系統(tǒng)，可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統(tǒng)提供單線接口供工廠控制，充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務。占地面積小，采用帶外部軸的雙臂機械手，通過雙軸復合運動實現(xiàn)取放片，極大的提高了傳片效率的同時而又降低了產(chǎn)品維護成本。內(nèi)部全新的氣體導流結(jié)構(gòu)，保證內(nèi)部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級別，保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內(nèi)部帶有多重互鎖保護，從軟件到硬件，多重保證晶圓傳輸過程中的安全，人員與設備的安全。

advantages

產(chǎn)品優(yōu)勢
  • 符合SEMI標準
    整機參照SEMI進行設計，符合半導體行業(yè)標準
  • 自主研發(fā)
    大氣手、aligner、SMIF、buffer等核心部件均自主研發(fā)，穩(wěn)定性高
  • 尺寸多樣性
    采用行業(yè)標準尺寸，內(nèi)部空間布局合理，結(jié)構(gòu)緊湊性強，可根據(jù)用戶需求定制
  • 傳輸效率高
    多款大氣手、aligner等部件可供選配，可配置外部軸，大氣手可實現(xiàn)多種取放功能，傳輸效率高
  • 標準化程度高
    內(nèi)部零部件高度標準化模塊化，互換性高
  • 兼容性強
    可根據(jù)用戶的實際需求進行非標定制


Application areas

產(chǎn)品應用領(lǐng)域

parameter

產(chǎn)品參數(shù)
  • 尺寸

    1820*780*2300mm

  • 重量

    ≤1100kg

  • 潔凈等級

    class 1

  • wafer放置位置精度

    ±0.1mm

  • wafer放置角度精度

    ±0.2°

  • WPH

    ≥400

版權(quán)所有 ? 沈陽新松機器人自動化股份有限公司 遼ICP備06001786號-1 地址：遼寧省沈陽市渾南區(qū)全運路33號 郵編：110169
關(guān)于新松 聯(lián)系我們 招賢納士